Dienstleistungen

  • Durchführung von Werkskalibrierungen (rückführbar zur PTB) und Vermessung von Mikrostrukturen
  • Geräte:
    Tastschnittgerät DEKTAK XTAutofokussensor AF 16
    Tastschnittgerät DEKTAK XTAutofokussensor AF 16
  • Herstellung von Normalen und Mikrostrukturen aus Silizium nach Kundenwunsch
  • Entwurf von Masken für das Ätzen von Silizium, insbesondere für das kristallorientierungsabhängige Nassätzen

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