Dienstleistungen
- Durchführung von Werkskalibrierungen (rückführbar zur PTB) und Vermessung von Mikrostrukturen
- Geräte:
Tastschnittgerät DEKTAK XT Autofokussensor AF 16 - Herstellung von Normalen und Mikrostrukturen aus Silizium nach Kundenwunsch
- Entwurf von Masken für das Ätzen von Silizium, insbesondere für das kristallorientierungsabhängige Nassätzen