Einführung
Einkristallines Silizium, wie es in der Mikroelektronik verwendet wird, ist durch seine Eigenschaften hervorragend als Werkstoff für Maßverkörperungen von Längen und Kräften geeignet.
- Seine strukturelle Perfektion,
- die kleine thermische Ausdehnung,
- die hohe Wärmeleitfähigkeit (wie bei Metallen),
- die wenig temperaturabhängigen elastischen Konstanten,
- die beachtliche Härte und
- die Korrosionsbeständigkeit
sichern eine hohe thermomechanische Stabilität. Darüberhinaus gestatten die verfügbaren Verfahren der Silizium-Mikrotechnologien eine Strukturierung mit höchster Präzision.
Die SiMETRICS GmbH wurde im September 2004 als Ausgründung aus der Technischen Universität Chemnitz gegründet. Ihre Mitarbeiter haben durch mehrjährige Tätigkeit an der Technischen Universität Chemnitz Erfahrungen auf dem Gebiet der Silizium-Mikrostrukturierung erworben und waren an mehreren Projekten zur Entwicklung von Maßverkörperungen von Längen und Kräften beteiligt.
Die SiMETRICS GmbH arbeitet auch heute noch eng mit mehreren Bereichen der Technischen Universität Chemnitz zusammen. Ebenso besteht eine Kooperation mit der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt in Braunschweig sowie weiteren Mikrotechnologiezentren.